類型光刻膠型號適用光譜厚度范圍/um分辨率適用工藝可用顯影液可用去膠液納米壓印膠mr-NIL 6000E熱固化和UV固化0.1-150nm可用于納米圖形的制造、刻蝕、多層系統(tǒng)等 mr-I 9000M熱固化0.1-150nm mr-UVCur21UV固化0.1-550nm