| 單價(jià)： | 面議 |
| 發(fā)貨期限： | 自買家付款之日起 天內(nèi)發(fā)貨 |
| 所在地： | 福建 廈門 |
| 有效期至： | 長期有效 |
| 發(fā)布時(shí)間： | 2023-12-13 22:36 |
| 最后更新： | 2023-12-13 22:36 |
| 瀏覽次數(shù)： | 492 |
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INFICON HP100氣體分析儀基于自等離子體光發(fā)射光譜技術(shù)（SPOES），旨在提供半導(dǎo)體制造過程中的實(shí)時(shí)泄漏檢測、端點(diǎn)檢測和過程監(jiān)控。 HP100具有出色的靈敏度，外形緊湊，提供寬廣的操作壓力范圍，無需昂貴的泵，非常適合大多數(shù)半導(dǎo)體工具的過程監(jiān)控和保護(hù)。
特點(diǎn)氬氣的操作范圍為1 Torr - 450 Torr，氮?dú)獾牟僮鞣秶鸀? Torr - 120 Torr（其他氣體種類則有所不同）
低檢測限規(guī)格
| 操作壓力 | 1 Torr - 450 Torr (取決于應(yīng)用) |
| 光譜儀性能 | 200至850納米波長（紫外-可見光） 16位全尺度分辨率，3648像素 |
| 檢測極限 | < 1 ppm (取決于應(yīng)用) |
| 曝光時(shí)間 | 少1毫秒 |
| 真空配件 | KF25 |