全自動(dòng)晶圓去蠟清洗機(jī)用于清洗已劃片完成的工件，對(duì)切割道進(jìn)行清洗，以便后續(xù)UV解膠工作。晶圓清洗機(jī)的主要工藝是水清洗、二流體清洗、甩干，其中不同種類(lèi)工件使用不同的**、壓力等等。本圖紙為成熟產(chǎn)品的圖紙，已在市面上各大公司使用，大部分為國(guó)產(chǎn)元器件，對(duì)比國(guó)外清洗機(jī)不僅具有相當(dāng)強(qiáng)的優(yōu)勢(shì)，且在使用上和工藝上不落下風(fēng)。

全自動(dòng)晶圓去蠟清洗機(jī)化學(xué)清洗槽（也叫酸槽/化學(xué)槽），主要有HF，H2SO4，H2O2，去蠟腐蝕設(shè)備，HCL等酸堿液體按一定比例配置，目的是為了去除雜質(zhì)，去離子，去原子，后還有DI清洗。IPA是，就是工業(yè)酒精，是用來(lái)clean機(jī)臺(tái)或parts的，是為了減少partical的。

全自動(dòng)晶圓去蠟清洗機(jī)采用等離子處理的優(yōu)點(diǎn)：

1，  經(jīng)等離子處理后可增加材料表面張力、增強(qiáng)粘接強(qiáng)度，從而**產(chǎn)品質(zhì)量；

2，  可替代熱融膠，使用冷粘膠或低牌號(hào)普通粘合劑來(lái)保證粘結(jié)質(zhì)量。減少膠水使用量，有效降低生產(chǎn)成本；

3，  采用等離子工藝，去蠟清洗設(shè)備，可使UV上光、PP覆膜等難粘合材料使用水性膠水都粘得很牢。并淘汰機(jī)械打磨、打孔等工序，不產(chǎn)生灰塵、廢屑，符合藥品、食品等包裝衛(wèi)生安全要求，有利于環(huán)保；

4，  等離子處理工藝不會(huì)在被處理材料表面留下任何痕跡，肉眼分辨不出來(lái)有被處理加工；

5，等離子因?yàn)槭请婋x氣體，去蠟清洗機(jī)，因而，沒(méi)有廢氣廢水等污染物排放，安全環(huán)保。

全自動(dòng)晶圓去蠟清洗機(jī)特點(diǎn):

1.設(shè)備清洗方式采用超聲波清洗+旋轉(zhuǎn)助洗方式，去蠟，可有效清洗產(chǎn)品的盲孔難洗部位，達(dá)到預(yù)期效果

2.整機(jī)采用PLC控制，自動(dòng)化程度高，清洗干燥過(guò)程中無(wú)需人工操作，有效減低了勞動(dòng)強(qiáng)度，節(jié)省了人力資源

3.可設(shè)定多套清洗工藝，滿(mǎn)足不同產(chǎn)品的清洗要求

4. 全自動(dòng)晶圓去蠟清洗機(jī)主要工藝流程（配旋轉(zhuǎn)洗蘭）： 洗劑噴淋→洗劑超聲清洗→超聲漂洗→鼓泡漂洗→熱漂洗→離心拋干+熱風(fēng)攪拌→熱風(fēng)循環(huán)干燥→真空干燥→靜電消