LINEAR MOTOR SERVO CONTROLLER檢修 axcelis ROTARY檢修

射頻檢修：AE電源維修，seren射頻檢修，spellman電源維修，glassan電源維修，IMS靜電發(fā)生器檢修，MDX、MDXII、Pinnacle、Diamond系列，電鍍電源檢修，電鍍工藝高壓電源檢修，離子注入射頻檢修，RE射頻檢修，PECVD射頻檢修，功率大的工業(yè)生產(chǎn)電源維修，UPS電源維修等各個(gè)行業(yè)工業(yè)級電源維修，射頻設(shè)備維護(hù)：離子注入，RIE,PECVD,ICP,射頻濺射，CVD和PVD等。

射頻檢修常見問題：

在替換完元器件后,通電前解決其有關(guān)元器件進(jìn)行檢測,是否存在短路故障(如整流管、IGBT管、開關(guān)電源輸出一部分、電力電子器件輸出等);

針對設(shè)備沒有穩(wěn)定工作和工作時(shí)斷時(shí)續(xù),可查驗(yàn)箱里主要電路的螺絲、接線端子排等是否牢固(在運(yùn)輸過程中有有可能出現(xiàn))、布線端空氣氧化等,老開關(guān)電源或使用環(huán)境惡劣的開關(guān)電源需要注意內(nèi)部結(jié)構(gòu)是不是積了許多塵土(可以用熱風(fēng)槍吹掉);如箱里積有許多油漬且使用壽命較長,不能修補(bǔ)應(yīng)報(bào)廢處理