AE電源維修: | MKS射頻電源維修 |
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射頻電源維修: | 射頻電源售后中心 |
單價: | 5000.00元/臺 |
發(fā)貨期限: | 自買家付款之日起 天內(nèi)發(fā)貨 |
所在地: | 廣東 深圳 |
有效期至: | 長期有效 |
發(fā)布時間: | 2023-12-21 04:21 |
最后更新: | 2023-12-21 04:21 |
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美國deos射頻激光電源維修控制器維修故障:上電無顯示,無法運行。AE射頻電源匹配器維修RF射頻電源維修AM-5北京AE射頻電源匹配器維修RF射頻電源維修AM-5北京Advanced Energy射頻電源匹配器維修 LETHAL VOLTAGE匹配器維修射頻電源匹配器維修包括:PECVD、MOCVD、ION IMP,PLASMA的設備電源,包括直流、高壓、脈沖、射頻、微波、匹配器、RPSC、CHILLER等。電源維修的時候,我們需要利用萬用表檢測一下各功率器件是否存在擊穿短路,例如電源整流橋堆、開關管、高頻大功率整流管、抑制浪涌電流的大功率電阻是否燒斷等,然后需要再檢測各輸出電壓端口電阻是否異常,如上述器件有損壞的情況我們則需要進行更換新的器件。
我們在完成上述檢測之后,接通電源后如還不能正常工作,接著我們就要檢測功率因數(shù)模塊(PFC)和脈寬調(diào)制組件(PWM),查閱相關資料,熟悉PFC和PWM模塊每個腳的功能及其模塊正常工作的條件。對于具有PFC電路的電源則需測量濾波電容兩端電壓是否為380VDC左右,如有380VDC左右電壓,說明PFC模塊工作正常,接著檢測PWM組件的工作狀態(tài),測量其電源輸入端VC,參考電壓輸出端VR,啟動控制Vstart/Vcontrol端電壓是否正常