高精鍍膜設(shè)備系列采用獨(dú)有的純離子鍍膜源專利技術(shù)，設(shè)備腔體結(jié)構(gòu)由裝載腔室+真空鍍膜工藝腔室組合而成。鍍膜工藝系統(tǒng)由純離子鍍膜[PIC)+離子束潔洗(0NBEAM)融合而成。配有高效的電磁掃描系統(tǒng)和過(guò)減系統(tǒng)，可以過(guò)濾掉大顆粒離子團(tuán)和原子團(tuán)，因此制備的納米薄膜非常致密和光滑，與工件的結(jié)合力很強(qiáng)，在均勻性、硬度、摩擦系數(shù)、耐沖擊、耐腐蝕性能方面具有獨(dú)特優(yōu)勢(shì)?？梢灾苽涑龉鈱W(xué)級(jí)Ta-C碳基薄膜，膜層中的正四面體結(jié)構(gòu)(金剛石SP3鍵)可以達(dá)到75%以上，其物理化學(xué)性質(zhì)和金剛石極其類似，具有極高的硬度(75GPa),極低的座擦系數(shù)(0.1),耐高溫(在氮?dú)獗Ｗo(hù)環(huán)境下可以達(dá)到600C以上)等一系列優(yōu)異特征。使用壽命比傳統(tǒng)的DLC膜層延長(zhǎng)幾倍至幾十倍不等,適合光學(xué)鏡頭模具,及精密高端產(chǎn)品的鍍膜。

主要應(yīng)用

> 精密光學(xué) : 光學(xué)模壓模具;

>高精機(jī)械加工: 精密機(jī)械零部件；

> 科研單位( 研究所大學(xué)實(shí)驗(yàn)室 )；

> 溫度敏感的基材等。

產(chǎn)品特點(diǎn)

> 低溫鍍膜、高效過(guò)濾；

> 專利技術(shù)、工藝成熟；

>膜層性能優(yōu)越: 硬度高、摩擦系數(shù)低；

>高精密膜層可大批量高效率生產(chǎn)等。