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硅基氮化鋁AlN on Si

產品名稱: AlN on Si
直徑inch: 2、4 可定制
基底材料: 500±10um
單價: 1000.00元/片
發(fā)貨期限: 自買家付款之日起 天內發(fā)貨
所在地: 福建 廈門
有效期至: 長期有效
發(fā)布時間: 2024-03-05 21:19
最后更新: 2024-03-05 21:19
瀏覽次數: 349
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詳細說明

硅基氮化鋁:

  @高質量

  @大面積

  @低成本


  產品名稱

  AlN on Si

  基底材料(Substrate)

  500±10um Si(100)

  直徑(inch)

  2、4 可定制

  AlN外延厚度(Thickness)

  50~200nm

  晶面取向(Orientation)

  c-aixs [0001]

  表面粗糙度(nm)(5x5um)

  Ra < 1nm (200nm)

  HRXRD半高寬(°) @(0002)

 ?。?.5°

  總厚度變化(TTV)

 ?。?7um

  翹曲度(Warp)

 ?。?0um

  彎曲度(Bow)

  -10 ~15um

  包裝(Packaging)

  單片/多片晶圓盒


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