真空熱處理是將金屬工件在 1個大氣壓以下(即負(fù)壓下)加熱的金屬熱處理工藝。20世紀(jì)20年代末，隨著電真空技術(shù)的發(fā)展，

出現(xiàn)了真空熱處理工藝，當(dāng)時還僅用于退火和脫氣。由于設(shè)備的限制，這種工藝較長時間未能獲得大的進(jìn)展。60～70年代，

陸續(xù)研制成功氣冷式真空熱處理爐、冷壁真空油淬爐和真空加熱高壓氣淬爐等，使真空熱處理工藝得到了新的發(fā)展。在真空

中進(jìn)行滲碳，在真空中等離子場的作用下進(jìn)行滲碳、滲氮或滲其他元素的技術(shù)進(jìn)展，又使真空熱處理進(jìn)一步擴(kuò)大了應(yīng)用范圍。

真空熱處理可用于退火、脫氣、固溶熱處理、淬火、回火和沉淀硬化等工藝。在通入適當(dāng)介質(zhì)后，也可用于化學(xué)熱處理。

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