STACISseline; margin: 0px; padding: 0px; position: relative; top: -0.5em; color: rgb(20, 20, 20); background-color: rgb(255, 255, 255);">? III是一種靈活的主動(dòng)隔振系統(tǒng)。STACIS采用的慣性振動(dòng)傳感器、控制算法和壓電致動(dòng)器，通過(guò)連續(xù)測(cè)量地面活動(dòng)，然后擴(kuò)展和收縮壓電致動(dòng)器來(lái)過(guò)濾地面運(yùn)動(dòng)，以實(shí)時(shí)消除振動(dòng)。

STACIS最初設(shè)計(jì)用于隔離先進(jìn)半導(dǎo)體工廠中的精密微光刻、計(jì)量和檢測(cè)設(shè)備，現(xiàn)已成為嘈雜環(huán)境（包括但不限于半導(dǎo)體工廠、失效分析實(shí)驗(yàn)室、納米技術(shù)研究、納米制造設(shè)施和材料研究中心）中敏感儀器的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)解決方案。

STACIS III包括一個(gè)全新的改進(jìn)型數(shù)字控制器DC-2020。這款全新的控制系統(tǒng)在前后面板上采用了新的雙核處理器、以太網(wǎng)以及USB串行端口，為用戶提供了現(xiàn)代化且易于使用的圖形用戶界面（GUI）。STACIS在全球已擁有數(shù)百個(gè)成功的安裝案例，適用于對(duì)振動(dòng)敏感的儀器。