描述

材料：不銹鋼1.4301 (SUS type 304), 厚度 3 mm     尺寸: 2400mm(L) x 750mm(W) x 900mm(H)

體積

1.6 m3

前窗

面板：8 mm厚安全鋼化玻璃  或 10 mm厚度聚碳酸酯 (可供選擇)  尺寸：1123mm(L) x 839mm(H)

手套口

硬鋁合金材質(zhì)或聚甲醛材料 (可供選擇)   口徑 220 mm, O型圈密封

手套

材料：丁基橡膠       厚度：  0.4 mm 或 0.8mm(可供選擇)

過濾器

出口和入口過濾器，過濾<0.3μm

照明

LED照明位于前窗頂上部

泄漏率

按照泄漏率< 0.001 vol%/h的標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行最終驗收測試

GP20氣體凈化系統(tǒng)

描述

自動去除 H2O 和 O2    ；單凈化柱系統(tǒng)，自動再生（可選GP200雙凈化柱）；密閉的氣體循環(huán)管路

使用電壓

AC 230 V / 50-60 Hz, 10 A 或 AC 115 V / 50-60 Hz, 20 A  （可供選擇）

工作氣體

工作氣：N2、Ar 、He（純度≥99.999%）；再生氣：H2 占5%—10%，其余的為工作氣（純度≥99.999%）

真空泵

規(guī)格：旋片真空泵,  配帶油霧過濾器, 帶氣鎮(zhèn)控制；流量：12 m3/h (7 cfm), 真空度< 2 x 10-3  mbar（可選干泵）

循環(huán)單元

無油高速風(fēng)機；風(fēng)量：0 - 100 m3/h

閥門

電磁高真空閥門

泄漏率

按照泄漏率< 0.001 vol%/h的標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行最終驗收測試

清洗系統(tǒng)

描述

設(shè)置好相應(yīng)時間和壓力，系統(tǒng)可以對箱體自動進(jìn)行氣體置換。